氣動執行器的定期維護有助于保持動作可靠性和使用壽命，減少意外停機。
氣源系統是維護重點。定期檢查氣源壓力是否穩定，過濾減壓閥壓力表顯示正常。過濾器濾芯定期清洗或更換，保持壓縮空氣潔凈。自動排水器功能正常，積水及時排出。潤滑油杯油位正常，潤滑油牌號符合要求，油量調節適當。氣路接頭檢查有無泄漏，發現漏氣及時緊固或更換密封件。
氣缸和活塞桿檢查。氣缸外部清潔，無磕碰損傷。活塞桿表面光潔，無銹蝕劃傷。活塞桿防塵套完好，防止灰塵進入。氣缸動作時平穩，無爬行和異響。密封件老化或磨損時及時更換，更換時選用原廠配件。氣缸內部積水時需拆開清理，檢查氣源處理系統。
彈簧組件檢查適用于單作用執行器。彈簧長期受壓可能產生永久變形，彈力下降。檢查閥門復位是否到位，復位速度是否正常。彈簧疲勞時需更換，更換時成組更換，保持彈力一致。
限位開關和定位器維護。限位開關動作靈敏，觸點接觸良好。定位器內部清潔，反饋桿連接可靠。零點量程定期校驗，偏差超差時調整。防爆型電氣元件不得在通電狀態下開蓋。信號線檢查有無破損，屏蔽層接地良好。
維護記錄包括維護日期、維護內容、更換配件、異常情況等。通過記錄分析故障規律，制定預防性維護計劃。長期停用的執行器，定期動作幾次，防止卡澀。
