氣動執行器在運行中可能出現各種故障，及時判斷和處理有助于恢復系統正常運行。
執行器不動作是常見故障。可能原因包括氣源壓力不足、電磁閥故障、定位器無輸出、氣缸卡澀、活塞密封件損壞等。先檢查氣源壓力，確認減壓閥設定正確。手動操作電磁閥，判斷執行器是否動作。檢查定位器輸入信號和輸出壓力。如仍不動作，需拆檢氣缸內部，清理異物，檢查密封件。
執行器動作緩慢或爬行影響控制效果。可能原因包括氣源流量不足、氣路節流閥開度過小、氣缸密封件磨損、活塞桿彎曲、導向件卡澀等。檢查氣源管路有無堵塞，調整節流閥開度。檢查氣缸密封件，磨損時更換。活塞桿彎曲需校直或更換。導向部位清理異物并潤滑。
閥門位置不到位或定位不準。可能原因包括限位開關位置偏移、執行器與閥門連接松動、定位器參數漂移、閥門內部卡澀等。重新調整限位開關位置。檢查執行器與閥門連接件，緊固松動部件。定位器重新設定零點量程。手動操作閥門檢查有無卡澀，清理內部異物。
執行器泄漏包括氣路泄漏和氣缸內部泄漏。氣路泄漏檢查接頭和管路，緊固或更換密封件。氣缸內部泄漏表現為活塞桿側排氣口持續排氣，說明活塞密封件損壞，需更換。端蓋密封圈泄漏時緊固螺栓或更換密封圈。
電磁閥故障包括線圈燒毀、閥芯卡死、手動操作失效等。測量線圈電阻判斷好壞，燒毀時更換。閥芯卡死時清洗閥體，更換密封件。手動操作失效時檢查操作機構。防爆電磁閥維修需按防爆要求進行。
